микроэлектромеханическая

Микроэлектромеханическая система, или МЭМС, представляет собой миниатюрное устройство или машину, которая изготовлена как из механических, так и из электрических компонентов, используя методы микрообработки. Термин «МЭМС» часто используется для описания как …